双框架微机械陀螺制备关键技术
文献类型：期刊论文
| 作者 | 林爱民 ; 牛蒙年 ; 解健芳 ; 杨根庆 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
 |
| 出版日期 | 1999 |
| 期号 | 01 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 研究了对双框架微机械陀螺性能有重要影响的关键制备技术，即不去胶条件下的电铸厚度检测、控制技术，以及结构层内应力的检测、控制技术。在此基础上采用本实验室自对准的准LIGA工艺制备出陀螺结构，其活动区面积为1．0×1．0mm2，框架厚度4μm。经加电测试，已观测到内、外框架在空气中的振动。 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104895]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 林爱民,牛蒙年,解健芳,等. 双框架微机械陀螺制备关键技术[J]. 功能材料与器件学报,1999(01). |
| APA | 林爱民,牛蒙年,解健芳,&杨根庆.(1999).双框架微机械陀螺制备关键技术.功能材料与器件学报(01). |
| MLA | 林爱民,et al."双框架微机械陀螺制备关键技术".功能材料与器件学报 .01(1999). |
入库方式： OAI收割
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