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水平法生长GaSb单晶的研究

文献类型:期刊论文

作者余海生 ; 蒋玉兰 ; 胡建 ; 廖丽英
刊名固体电子学研究与进展
出版日期1991
期号02
ISSN号1000-3819
中文摘要本文采用独特的工艺和装置,用水平法研制GaSb单晶.已获得不掺杂p型晶体,室温下其载流子浓度和迁移率分别为1.0~1.7×10~(17)cm~(-3)和630~780cm~2/V·s;渗Te的n型单晶两者分别为1.4×10~(18)cm~(-3)和2690cm~2/V·s,成晶率大于50%.本文还探讨了研制过程中存在的几个问题.
语种中文
公开日期2012-03-29
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104900]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文(冶金所)
推荐引用方式
GB/T 7714
余海生,蒋玉兰,胡建,等. 水平法生长GaSb单晶的研究[J]. 固体电子学研究与进展,1991(02).
APA 余海生,蒋玉兰,胡建,&廖丽英.(1991).水平法生长GaSb单晶的研究.固体电子学研究与进展(02).
MLA 余海生,et al."水平法生长GaSb单晶的研究".固体电子学研究与进展 .02(1991).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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