水热合成BaTiO_3薄膜及其微观结构分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 许华平 ; 辛火平 ; 林成鲁 ; 江富民 ; 殷庆瑞 ; 孟繁德 |
| 刊名 | 应用科学学报
 |
| 出版日期 | 1997 |
| 期号 | 01 |
| ISSN号 | 0255-8297 |
| 中文摘要 | 利用水热反应，成功地在１６０℃的低温下，直接在蒸钛硅衬底表面合成了多晶ＢａＴｉＯ３薄膜。扫描电镜（ＳＥＭ）观察发现薄膜的组织结构均匀、致密、平均晶粒尺寸约１００ｎｍ．对比快速热退火（ＲＴＡ）前后薄膜的扩展电阻深度分布、ＳＥＭ形貌象和Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）谱发现：薄膜吕多层结构，退火前为立方ＢａＴｉＯ３／非晶ＢａＴｉＯ３－ｘ／Ｔ／Ｓｉ．退火后变为四方ＢａＴｉＯ３／Ｔｉ／Ｓｉ。 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104902]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 许华平,辛火平,林成鲁,等. 水热合成BaTiO_3薄膜及其微观结构分析[J]. 应用科学学报,1997(01). |
| APA | 许华平,辛火平,林成鲁,江富民,殷庆瑞,&孟繁德.(1997).水热合成BaTiO_3薄膜及其微观结构分析.应用科学学报(01). |
| MLA | 许华平,et al."水热合成BaTiO_3薄膜及其微观结构分析".应用科学学报 .01(1997). |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。