台面型半导体器件的制造方法
文献类型：期刊论文
| 作者 | 何德湛 ; 陈益清 |
| 刊名 | 物理
 |
| 出版日期 | 1992 |
| 期号 | 04 |
| ISSN号 | 0379-4148 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104920]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 何德湛,陈益清. 台面型半导体器件的制造方法[J]. 物理,1992(04). |
| APA | 何德湛,&陈益清.(1992).台面型半导体器件的制造方法.物理(04). |
| MLA | 何德湛,et al."台面型半导体器件的制造方法".物理 .04(1992). |
入库方式： OAI收割
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