钽酸锶铋陶瓷靶的烧结及其薄膜微结构分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 周宁生 ; 李明 ; 金灯仁 ; 陆怀先 ; 杨平雄 |
| 刊名 | 南京大学学报(自然科学版)
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| 出版日期 | 1997 |
| 期号 | 02 |
| ISSN号 | 0465-7926 |
| 中文摘要 | 高致密、结晶好的钽酸锶铋陶瓷靶由ＳｒＣＯ３、Ｂｉ２Ｏ３和Ｔａ２Ｏ５粉末混合、预烧、压模和烧结而成，预烧和烧结温度范围分别为９００～１０００℃和１０００～１４００℃。用脉冲准分子激光沉积技术制备得到非晶钽酸锶铋薄膜，在氧气氛下经退火得到多晶钽酸锶铋薄膜。ＸＲＤ分析得到钽酸锶铋薄膜择优取向以（００８）和（１１５）为主；ＴＥＭ分析得到钽酸锶铋薄膜晶界清晰、结构致密，平均晶粒大小约为２０ｎｍ，薄膜的界面清晰、陡峭，厚度约为２００ｎｍ。 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104927]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 周宁生,李明,金灯仁,等. 钽酸锶铋陶瓷靶的烧结及其薄膜微结构分析[J]. 南京大学学报(自然科学版),1997(02). |
| APA | 周宁生,李明,金灯仁,陆怀先,&杨平雄.(1997).钽酸锶铋陶瓷靶的烧结及其薄膜微结构分析.南京大学学报(自然科学版)(02). |
| MLA | 周宁生,et al."钽酸锶铋陶瓷靶的烧结及其薄膜微结构分析".南京大学学报(自然科学版) .02(1997). |
入库方式： OAI收割
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