提高FEA电子发射可靠性和均匀性的几种结构
文献类型：期刊论文
| 作者 | 范忠 ; 李琼 ; 徐静芳 ; 郭方敏 ; 茅东升 |
| 刊名 | 微细加工技术
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| 出版日期 | 2002 |
| 期号 | 01 |
| 关键词 | K1 FEA 可靠性 均匀性 |
| ISSN号 | 1003-8213 |
| 中文摘要 | 首先介绍了稳定FEA电子发射均匀性和可靠性的几种结构 ,然后提出了以离子注入和干法刻蚀技术 ,在常规电阻率P型衬底上制成具有串联电阻负反馈特性的单片硅FEA。这些设计和工艺可供研究人员在设计具体FEA电子源的不同应用领域 ,如平版显示器、微波真空器件、微真空传感器时作参考 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104943]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 范忠,李琼,徐静芳,等. 提高FEA电子发射可靠性和均匀性的几种结构[J]. 微细加工技术,2002(01). |
| APA | 范忠,李琼,徐静芳,郭方敏,&茅东升.(2002).提高FEA电子发射可靠性和均匀性的几种结构.微细加工技术(01). |
| MLA | 范忠,et al."提高FEA电子发射可靠性和均匀性的几种结构".微细加工技术 .01(2002). |
入库方式： OAI收割
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