通过InGaAsP外延层的InP深Zn扩散理论与实验研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 肖德元 ; 徐少华 ; 郭康瑾 |
| 刊名 | 红外与毫米波学报
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| 出版日期 | 1992 |
| 期号 | 02 |
| ISSN号 | 1001-9014 |
| 中文摘要 | 研究了Zn在InP、InGaAsP以及InGaAsP/InP中的扩散,扩散结深均与时间的平方根成正比.对于InGaAsP/InP单异质结,扩散结深还与InGaAsP覆盖层的厚度x_0有关.推导出其结深与扩散时间的函数关系为x_j/t~(1/2)=-x_0/(rt~(1/2))+I. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104969]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 肖德元,徐少华,郭康瑾. 通过InGaAsP外延层的InP深Zn扩散理论与实验研究[J]. 红外与毫米波学报,1992(02). |
| APA | 肖德元,徐少华,&郭康瑾.(1992).通过InGaAsP外延层的InP深Zn扩散理论与实验研究.红外与毫米波学报(02). |
| MLA | 肖德元,et al."通过InGaAsP外延层的InP深Zn扩散理论与实验研究".红外与毫米波学报 .02(1992). |
入库方式： OAI收割
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