透射干涉法测量蓝宝石上薄外延硅层的厚度
文献类型：期刊论文
| 作者 | 蔡希介 ; 陈庆贵 ; 史日华 ; 王其闵 |
| 刊名 | 应用科学学报
 |
| 出版日期 | 1984 |
| 期号 | 02 |
| ISSN号 | 0255-8297 |
| 中文摘要 | 利用光波的透射干涉原理,提出了一个测量亚微米内蓝宝石上外延硅层厚度的方法,使用不同仪器,在各种波长范围内,对该方法同反射干涉测量法、扫描电镜断面直接测量法进行了比较.结果证明,透射干涉测量薄外延硅层厚度方便易行,精度与反射法相同. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104978]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 蔡希介,陈庆贵,史日华,等. 透射干涉法测量蓝宝石上薄外延硅层的厚度[J]. 应用科学学报,1984(02). |
| APA | 蔡希介,陈庆贵,史日华,&王其闵.(1984).透射干涉法测量蓝宝石上薄外延硅层的厚度.应用科学学报(02). |
| MLA | 蔡希介,et al."透射干涉法测量蓝宝石上薄外延硅层的厚度".应用科学学报 .02(1984). |
入库方式： OAI收割
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