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涂膜SAW的气、湿敏传感器响应特性研究

文献类型:期刊论文

作者骆如枋
刊名郑州轻工业学院学报
出版日期2000
期号04
ISSN号1004-1478
中文摘要大量事实表明,涂膜SAW气、湿敏传感器的实际响应值要比Wohltjen公式的预期值 大得多.与石英QCM和GLC测试结果对比,发现涂膜SAW气、湿敏传感器的实际响应值比纯质 量效应响应值要超出2倍~5倍.产生这种现象的原因,是因为绝大多数聚合物涂膜均具有明 显的黏弹性,在吸湿、吸气后会产生膜的溶涨软化,使膜的剪切模量明显下降,从而使传感 器频降加剧;当膜的软化达到一定程度后,又会产生膜振荡,传感器振荡频律明显增加, 响应曲线反弹上升;如果膜继续软化或膜的厚度较大,还可能发生膜的高次振荡.基于此可 建立一个
公开日期2012-03-29
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104980]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文(冶金所)
推荐引用方式
GB/T 7714
骆如枋. 涂膜SAW的气、湿敏传感器响应特性研究[J]. 郑州轻工业学院学报,2000(04).
APA 骆如枋.(2000).涂膜SAW的气、湿敏传感器响应特性研究.郑州轻工业学院学报(04).
MLA 骆如枋."涂膜SAW的气、湿敏传感器响应特性研究".郑州轻工业学院学报 .04(2000).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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