微电机中转子和衬底间的微磨擦参数的提取
文献类型：期刊论文
| 作者 | 杨俊杰 ; 甘骏人 ; 姚林声 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
 |
| 出版日期 | 2002 |
| 期号 | 01 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 为了分析微电机的动力学特性,提出了一种微磨擦参数提取的人工神经网络模型。通过该模型可以方便地得到指定加工工艺的微电机的微磨擦系数。仿真结果与实测数据比较表明,模拟结果与实测数据基本一致。 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105016]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨俊杰,甘骏人,姚林声. 微电机中转子和衬底间的微磨擦参数的提取[J]. 功能材料与器件学报,2002(01). |
| APA | 杨俊杰,甘骏人,&姚林声.(2002).微电机中转子和衬底间的微磨擦参数的提取.功能材料与器件学报(01). |
| MLA | 杨俊杰,et al."微电机中转子和衬底间的微磨擦参数的提取".功能材料与器件学报 .01(2002). |
入库方式： OAI收割
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