微机械加工的微型压电行波马达
文献类型：期刊论文
| 作者 | 沈德新 ; 张健 ; 张保安 ; 卢建国 ; 董荣康 ; 陈思琴 ; 杨根庆 ; 王渭源 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
 |
| 出版日期 | 1998 |
| 期号 | 02 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 在分析压电行波马达工作原理的基础上，采用微机械加工工艺分别研制成定子和转子，并通过微组装得到了完整的微机械压电马达。马达定子、转子的尺寸均为２ｍｍ。初步实验表明，在小于１０伏交流信号激励下，马达旋转转速可达到约５０ｒｐｍ。 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105030]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 沈德新,张健,张保安,等. 微机械加工的微型压电行波马达[J]. 功能材料与器件学报,1998(02). |
| APA | 沈德新.,张健.,张保安.,卢建国.,董荣康.,...&王渭源.(1998).微机械加工的微型压电行波马达.功能材料与器件学报(02). |
| MLA | 沈德新,et al."微机械加工的微型压电行波马达".功能材料与器件学报 .02(1998). |
入库方式： OAI收割
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