新型背散射电子探测器的应用
文献类型：期刊论文
| 作者 | 唐圣明 ; 林绥娟 |
| 刊名 | 电子显微学报
 |
| 出版日期 | 1993 |
| 期号 | 02 |
| ISSN号 | 1000-6281 |
| 中文摘要 | <正> 新型背散射电子探测器是由鲁宾逊(Robinson)于1974年最先提出来的。这种探测器由大型闪烁晶体与光电倍增管组成。它具有2000mm~2的接收表面,拥有大的接收立体角和短的工作距离,从而增强了信号强度,改善了信噪比。近年来,针对低原子序数,表面平坦的样品,其分辨率不高的缺点,又推出了适于超低压观察的低电压背散射电子探测器。因此,在扫描电子显微镜中得到广泛的应用。新型背散射电子探测器与其它类型的背散射电子探测器相比,其获得的图象有以下特点:一、具有与二次电子图象相当的空间分辨率——3nm。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105120]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 唐圣明,林绥娟. 新型背散射电子探测器的应用[J]. 电子显微学报,1993(02). |
| APA | 唐圣明,&林绥娟.(1993).新型背散射电子探测器的应用.电子显微学报(02). |
| MLA | 唐圣明,et al."新型背散射电子探测器的应用".电子显微学报 .02(1993). |
入库方式： OAI收割
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