一种采用局域注氧技术制备的新型DSOI器件(英文)
文献类型：期刊论文
| 作者 | 何平 ; 江波 ; 林曦 ; 刘理天 ; 田立林 ; 李志坚 ; 董业明 ; 陈猛 ; 王曦 |
| 刊名 | 半导体学报
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| 出版日期 | 2003 |
| 期号 | 06 |
| ISSN号 | 0253-4177 |
| 中文摘要 | 为了克服传统 SOI器件的浮体效应和自热效应 ,采用创新的工艺方法将低剂量局域 SIMOX工艺及传统的CMOS工艺结合 ,实现了 DSOI结构的器件 .测试结果表明 ,该器件消除了传统 SOI器件的浮体效应 ,同时自热效应得到很大的改善 ,提高了可靠性和稳定性 .而原先 SOI器件具备的优点得到了保留 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105229]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 何平,江波,林曦,等. 一种采用局域注氧技术制备的新型DSOI器件(英文)[J]. 半导体学报,2003(06). |
| APA | 何平.,江波.,林曦.,刘理天.,田立林.,...&王曦.(2003).一种采用局域注氧技术制备的新型DSOI器件(英文).半导体学报(06). |
| MLA | 何平,et al."一种采用局域注氧技术制备的新型DSOI器件(英文)".半导体学报 .06(2003). |
入库方式： OAI收割
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