一种二次自对准的镍微静电马达
文献类型：期刊论文
| 作者 | 毛敏耀 ; 王效东 ; 解健芳 ; 王渭源 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
 |
| 出版日期 | 1996 |
| 期号 | 03 |
| ISSN号 | 10074252 |
| 中文摘要 | 设计出一种微静电ｗｏｂｂｌｅ马达，定子电极的一部分重叠在转子之上，微马达用二次自对准的准ＬＩＧＡ技术制作，电铸镍作结构层（定子、转子和轴），电铸铜作牺牲层，得到的转子与定子、转子和轴的间隙分别为２．５和１．３μｍ。马达制备的关键工艺都在低温下完成。在定子和转子间加电压１５Ｖ，观察到马达转子开始晃动，３０～５５Ｖ时连续转动，转速和减速比随电压和频率变化，对实验结果进行了讨论。 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105231]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 毛敏耀,王效东,解健芳,等. 一种二次自对准的镍微静电马达[J]. 功能材料与器件学报,1996(03). |
| APA | 毛敏耀,王效东,解健芳,&王渭源.(1996).一种二次自对准的镍微静电马达.功能材料与器件学报(03). |
| MLA | 毛敏耀,et al."一种二次自对准的镍微静电马达".功能材料与器件学报 .03(1996). |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。