影响电子束曝光机加工微细化的因素
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王国荃 ; 罗腾蛟 ; 陈福余 ; 李忠涛 ; 徐志如 |
| 刊名 | 微细加工技术
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| 出版日期 | 1991 |
| 期号 | 02 |
| ISSN号 | 1003-8213 |
| 中文摘要 | 结合实际工作,分析、探讨了影响电子束曝光机加工微细化的因素。这些因素主要有:抗蚀剂材料、电子束本身、电子束曝光机控制线路、器件结构和电子束工艺等。在诸影响因素中,工艺的影响是目前一个较大且较主要的影响因素,其次是背散射电子束的影响,对后者,我们采用辅助曝光方法加以改善,效果良好。但对工艺等的影响因素的改善尚待继续研究、摸索。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105304]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王国荃,罗腾蛟,陈福余,等. 影响电子束曝光机加工微细化的因素[J]. 微细加工技术,1991(02). |
| APA | 王国荃,罗腾蛟,陈福余,李忠涛,&徐志如.(1991).影响电子束曝光机加工微细化的因素.微细加工技术(02). |
| MLA | 王国荃,et al."影响电子束曝光机加工微细化的因素".微细加工技术 .02(1991). |
入库方式： OAI收割
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