用PLD法制备声表面波器件用ZnO薄膜
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘彦松 ; 王连卫 ; 李伟群 ; 黄继颇 ; 林成鲁 |
| 刊名 | 功能材料
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| 出版日期 | 2001 |
| 期号 | 01 |
| ISSN号 | 1001-9731 |
| 中文摘要 | 采用脉冲激光淀积 (PLD)法在单晶Si(10 0 )衬底上淀积了ZnO薄膜。XRD、TEM和AFM分析表明 ,淀积的ZnO薄膜具有良好的c轴取向性和表面平整度。通过改变淀积气氛或在纯氧中高温退火 ,ZnO薄膜的电阻率提高到 10 7Ω·cm。这些结果表明 ,用PLD法淀积的ZnO薄膜能够满足声表面波(SAW )器件的需要。 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105319]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘彦松,王连卫,李伟群,等. 用PLD法制备声表面波器件用ZnO薄膜[J]. 功能材料,2001(01). |
| APA | 刘彦松,王连卫,李伟群,黄继颇,&林成鲁.(2001).用PLD法制备声表面波器件用ZnO薄膜.功能材料(01). |
| MLA | 刘彦松,et al."用PLD法制备声表面波器件用ZnO薄膜".功能材料 .01(2001). |
入库方式： OAI收割
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