用喷雾热分解法制备MgO薄膜
文献类型：期刊论文
| 作者 | 武光明 ; 符晓荣 ; 宋世庚 ; 林成鲁 |
| 刊名 | 材料研究学报
 |
| 出版日期 | 2000 |
| 期号 | 01 |
| 关键词 | K1 氧化镁 薄膜 喷雾热分解 |
| ISSN号 | 1005-3093 |
| 其他题名 | T1 用喷雾热分解法制备MgO薄膜 |
| 中文摘要 | 用压缩空气式喷雾热分解法在 Ｓｉ（１００）衬底上制备了（１００）取向 ＭｇＯ薄膜．结果表明，衬 底温度和喷雾速率是制备（１００）取向 ＭｇＯ薄膜的关键问素在 ６００℃得到了（１００）取向的 ＭｇＯ薄 膜，用Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）、原子力显微镜（ＡＦＭ）和透射电镜（ＴＥＭ）分析了薄膜的微观结构 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105365]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 武光明,符晓荣,宋世庚,等. 用喷雾热分解法制备MgO薄膜[J]. 材料研究学报,2000(01). |
| APA | 武光明,符晓荣,宋世庚,&林成鲁.(2000).用喷雾热分解法制备MgO薄膜.材料研究学报(01). |
| MLA | 武光明,et al."用喷雾热分解法制备MgO薄膜".材料研究学报 .01(2000). |
入库方式： OAI收割
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