用于GaSb/AlGaAsSb器件制备的新型化学腐蚀液研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 简贵胄 ; 郑燕兰 ; 林春 ; 李爱珍 ; 张永刚 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
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| 出版日期 | 2001 |
| 期号 | 01 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 提出了一种适用于 GaSb/AlGaAsSb器件工艺的由氢氟酸、酒石酸和双氧水构成的氢氟酸 系腐蚀液。该腐蚀液对于 GaSb和 AlGaAsSb材料具有良好的腐蚀特性和稳定的刻蚀速率。选用 合适的溶液组份可以得到较低的刻蚀速率，有利于在器件工艺中进行精确控制。实验中发现该腐 蚀液对 AlGaAsSb的腐蚀速率与其 Al组份呈抛物线关系，在合适的 Al组份下可对 AlGaAsSb和 GaSb两种材料进行非选择性的刻蚀。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105406]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 简贵胄,郑燕兰,林春,等. 用于GaSb/AlGaAsSb器件制备的新型化学腐蚀液研究[J]. 功能材料与器件学报,2001(01). |
| APA | 简贵胄,郑燕兰,林春,李爱珍,&张永刚.(2001).用于GaSb/AlGaAsSb器件制备的新型化学腐蚀液研究.功能材料与器件学报(01). |
| MLA | 简贵胄,et al."用于GaSb/AlGaAsSb器件制备的新型化学腐蚀液研究".功能材料与器件学报 .01(2001). |
入库方式： OAI收割
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