用于红外地平仪的双列硅集成热堆传感器
文献类型：期刊论文
| 作者 | 卢建国 ; 隋兆文 ; 熊斌 ; 王渭源 ; 黄玢 ; 王素英 |
| 刊名 | 红外技术
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| 出版日期 | 1993 |
| 期号 | 04 |
| ISSN号 | 1008-8891 |
| 中文摘要 | 本文报道了试用于红外地平仪的新型热堆传感器。由于尺寸小、集成热偶对数高,故设计成双列硅集成结构,集成B-Sb热偶对为112对。采用集成电路工艺和微细加工技术研制,使器件获得较好的稳定性和可靠性。测得器件性能为:电阻10±1kΩ,响应率0.9～1.2V/W,时间常数<100ms.探测率D~*≈1×10~8cmHz~(1/2)/W。 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105415]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 卢建国,隋兆文,熊斌,等. 用于红外地平仪的双列硅集成热堆传感器[J]. 红外技术,1993(04). |
| APA | 卢建国,隋兆文,熊斌,王渭源,黄玢,&王素英.(1993).用于红外地平仪的双列硅集成热堆传感器.红外技术(04). |
| MLA | 卢建国,et al."用于红外地平仪的双列硅集成热堆传感器".红外技术 .04(1993). |
入库方式： OAI收割
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