用于离子注入机的Freeman型离子源的研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 姜苏蔚 ; 李钧 ; 杜建敏 ; 桑和康 ; 刘来凤 ; 蒋新元 |
| 刊名 | 核技术
 |
| 出版日期 | 1989 |
| 期号 | 01 |
| ISSN号 | 0253-3219 |
| 中文摘要 | 本文介绍了一台适用于离子注入机的Freeman型离子源,该源结构简单、操作方便、功耗低、造价便宜。通过对离子源放电室结构、引出系统的改进,可获得接近旁轴条件、品质优良的离子束,束流在0.5—1mA之间。用常规的双缝法对束流发射度进行测量,能量归一化发射度在2—4×10~(-5)mm·rad·MeV~(1/2)之间,归一化亮度≥7.6×10~(10)A/m~2·rad~2,有一定的应用价值。 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105419]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 姜苏蔚,李钧,杜建敏,等. 用于离子注入机的Freeman型离子源的研制[J]. 核技术,1989(01). |
| APA | 姜苏蔚,李钧,杜建敏,桑和康,刘来凤,&蒋新元.(1989).用于离子注入机的Freeman型离子源的研制.核技术(01). |
| MLA | 姜苏蔚,et al."用于离子注入机的Freeman型离子源的研制".核技术 .01(1989). |
入库方式： OAI收割
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