用于微机械器件和微电子机械系统的关键技术——微机械技术
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王渭源 ; 鲍敏杭 ; 赖宗声 ; 陆德仁 ; 沈绍群 ; 王效东 ; 王云珍 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
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| 出版日期 | 1998 |
| 期号 | 04 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 微机械技术是研究，生产微机械器件和微电子机械系统的关键技术，熟练掌握并不容易。本文总结了三个单位为时数年在微机械技术方面的研究成果，重点介绍我们首创的三项技术，即自对准的准三维加工技术，硅三维结构的无掩模腐蚀技术和硅／硅低温直接键合技术，也提到我们开展过的其他几项微机械技术以及所制作的几种微机械器件的参数或结果。 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105422]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王渭源,鲍敏杭,赖宗声,等. 用于微机械器件和微电子机械系统的关键技术——微机械技术[J]. 功能材料与器件学报,1998(04). |
| APA | 王渭源.,鲍敏杭.,赖宗声.,陆德仁.,沈绍群.,...&王云珍.(1998).用于微机械器件和微电子机械系统的关键技术——微机械技术.功能材料与器件学报(04). |
| MLA | 王渭源,et al."用于微机械器件和微电子机械系统的关键技术——微机械技术".功能材料与器件学报 .04(1998). |
入库方式： OAI收割
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