原子力显微镜微探针制造及阳极键合技术
文献类型：期刊论文
| 作者 | 何德湛 ; 郑宜波 ; 张敏 |
| 刊名 | 半导体技术
 |
| 出版日期 | 1997 |
| 期号 | 02 |
| ISSN号 | 1003-353X |
| 中文摘要 | 首先简介原子力显微镜（ＡＦＭ）的特点，然后叙述阳极键合技术的原理，以及此技术在微探针制造中的应用，最后给出该技术在ＣＭＯＳ新的ＳＯＩ结构中的应用 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105464]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 何德湛,郑宜波,张敏. 原子力显微镜微探针制造及阳极键合技术[J]. 半导体技术,1997(02). |
| APA | 何德湛,郑宜波,&张敏.(1997).原子力显微镜微探针制造及阳极键合技术.半导体技术(02). |
| MLA | 何德湛,et al."原子力显微镜微探针制造及阳极键合技术".半导体技术 .02(1997). |
入库方式： OAI收割
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