真空磁过滤弧沉积碳氮薄膜的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈智颖 ; 俞跃辉 ; 赵建平 ; 王曦 ; 周祖尧 ; 杨石奇 ; 柳襄怀 ; 施天生 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
 |
| 出版日期 | 1997 |
| 期号 | 01 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 本文采用真空磁过滤弧沉积技术，在Ｓｉ（１１１）、石英及Ｔｉ／Ｃ衬底上制备得到非晶碳氮（ＣＮｘ）薄膜。采用卢瑟福背散射分析对薄膜的面密度及Ｎ含量进行定量计算。用紫外－可见透射光谱与红外反射光谱研究了薄膜的光学性能。结果表明：随着薄膜中氮含量的增加，碳氮薄膜的光学禁带宽度减小，红外反射率增加。另外，就不同氮气分压对薄膜结构的影响进行了研究。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105498]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈智颖,俞跃辉,赵建平,等. 真空磁过滤弧沉积碳氮薄膜的研究[J]. 功能材料与器件学报,1997(01). |
| APA | 陈智颖.,俞跃辉.,赵建平.,王曦.,周祖尧.,...&施天生.(1997).真空磁过滤弧沉积碳氮薄膜的研究.功能材料与器件学报(01). |
| MLA | 陈智颖,et al."真空磁过滤弧沉积碳氮薄膜的研究".功能材料与器件学报 .01(1997). |
入库方式： OAI收割
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