自集成透镜InGaAsP/InPDHLED及其离子束铣技术
文献类型：期刊论文
| 作者 | 肖德元 ; 郭康瑾 ; 付新定 ; 徐少华 ; 方红丽 ; 张坚萍 ; 陈启玙 ; 陈瑞璋 |
| 刊名 | 光学学报
 |
| 出版日期 | 1991 |
| 期号 | 01 |
| ISSN号 | 0253-2239 |
| 中文摘要 | 本文报道在国内首次采用离子束铣技术研制自集成透镜InGaAsP/InP DH LED的实验结果。采用烘烤正性光致抗蚀剂来形成球状掩膜适合于离子束铣,且重复性很好。为了获得光洁的刻蚀表面,刻蚀条件均已最优化。 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105551]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 肖德元,郭康瑾,付新定,等. 自集成透镜InGaAsP/InPDHLED及其离子束铣技术[J]. 光学学报,1991(01). |
| APA | 肖德元.,郭康瑾.,付新定.,徐少华.,方红丽.,...&陈瑞璋.(1991).自集成透镜InGaAsP/InPDHLED及其离子束铣技术.光学学报(01). |
| MLA | 肖德元,et al."自集成透镜InGaAsP/InPDHLED及其离子束铣技术".光学学报 .01(1991). |
入库方式： OAI收割
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