纵向结构真空磁敏传感器的原理和制造
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈春辉 ; 范忠 ; 刘新福 ; 李琼 ; 徐静芳 ; 杨根庆 |
| 刊名 | 华东师范大学学报(自然科学版)
 |
| 出版日期 | 1998 |
| 期号 | 04 |
| 关键词 | K1 场发射阵列 纵向真空磁敏传感器 |
| ISSN号 | 1000-5641 |
| 其他题名 | T1 纵向结构真空磁敏传感器的原理和制造 |
| 中文摘要 | 该文介绍了用场发射阵列作为电子源的纵向磁敏感传感器（VerticalFieldEmissionArraysMasneticFieldSensor－VFEAMFS）的工作原理，分析了这种磁敏传感器的灵敏度，并阐述了VFEAMFS器件的制造和实验结果以及器件的基本工作参数和提高灵敏度的主要措施。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105575]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈春辉,范忠,刘新福,等. 纵向结构真空磁敏传感器的原理和制造[J]. 华东师范大学学报(自然科学版),1998(04). |
| APA | 陈春辉,范忠,刘新福,李琼,徐静芳,&杨根庆.(1998).纵向结构真空磁敏传感器的原理和制造.华东师范大学学报(自然科学版)(04). |
| MLA | 陈春辉,et al."纵向结构真空磁敏传感器的原理和制造".华东师范大学学报(自然科学版) .04(1998). |
入库方式： OAI收割
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