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磁场在LEC法生长GaAs晶体中的应用

文献类型:期刊论文

作者莫培根
刊名稀有金属
出版日期1987
期号06
ISSN号0258-7076
中文摘要本文介绍了近年发展的在LEC法中应用磁场生长GaAs单晶的研究结果。对磁场应用的原理、设备及用于GaAs单晶生长作了较详细的论述。其中着重阐明了采用超导磁场生长半绝缘晶体的实际效果,指出施加磁场是生长均匀性和完整性良好的、符合集成电路要求的、大直径SI-GaAs晶体的有效措施之一。
语种中文
公开日期2012-03-29
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105586]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文(冶金所)
推荐引用方式
GB/T 7714
莫培根. 磁场在LEC法生长GaAs晶体中的应用[J]. 稀有金属,1987(06).
APA 莫培根.(1987).磁场在LEC法生长GaAs晶体中的应用.稀有金属(06).
MLA 莫培根."磁场在LEC法生长GaAs晶体中的应用".稀有金属 .06(1987).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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