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弹道电子发射显微镜的研制及对金属/半导体界面的探测

文献类型:期刊论文

作者白春礼 ; 郭仪 ; 樊天申 ; 商广义 ; 戴长春 ; 沈德芳
刊名电子显微学报
出版日期1996
期号01
ISSN号1000-6281
中文摘要本文报告了自行研制的弹道电子发射显微镜(BEEM)的基本工作原理、结构以及几个关键技术问题。给出了用这台仪器得到的Au/n-Si(100)和Au/n-GaAs(100)样品的BEEM谱、表面形貌像以及界面图像,并对实验结果进行了解释。
语种中文
公开日期2012-03-29
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105648]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文(冶金所)
推荐引用方式
GB/T 7714
白春礼,郭仪,樊天申,等. 弹道电子发射显微镜的研制及对金属/半导体界面的探测[J]. 电子显微学报,1996(01).
APA 白春礼,郭仪,樊天申,商广义,戴长春,&沈德芳.(1996).弹道电子发射显微镜的研制及对金属/半导体界面的探测.电子显微学报(01).
MLA 白春礼,et al."弹道电子发射显微镜的研制及对金属/半导体界面的探测".电子显微学报 .01(1996).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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