低能Cu原子簇沉积薄膜的分子动力学模拟
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李融武 ; 潘正瑛 ; 霍裕昆 |
| 刊名 | 物理学报
 |
| 出版日期 | 1996 |
| 期号 | 07 |
| ISSN号 | 1000-3290 |
| 中文摘要 | 用分子动力学计算机模拟研究了能量为5—20 eV/atorn，结构为正二十面体的(Cu)_(13)原子簇在Cu（001）表面的沉积过程.采用紧束缚势同Moliers势的结合描述Cu原子间相互作用通过原子簇-衬底相互作用的“快照”研究沉积的动态过程．结果表明，当入射能量较低时，轰击弛豫后，入射原子簇在衬底表面发生重构，生成很好的外延层，靶没有任何损伤．随着轰击能量的增加，原子簇原子穿入靶的深度增加.当入射能量达到20 eV/atom时，原子簇完全穿入靶并开始造成辐照损伤，表面出现空位，靶内产生间隙原子.对原 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105682]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李融武,潘正瑛,霍裕昆. 低能Cu原子簇沉积薄膜的分子动力学模拟[J]. 物理学报,1996(07). |
| APA | 李融武,潘正瑛,&霍裕昆.(1996).低能Cu原子簇沉积薄膜的分子动力学模拟.物理学报(07). |
| MLA | 李融武,et al."低能Cu原子簇沉积薄膜的分子动力学模拟".物理学报 .07(1996). |
入库方式： OAI收割
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