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电解液电反射法研究GaAs/GaAlAs多层结构材料

文献类型:期刊论文

作者王周成 ; 彭瑞伍 ; 钱佑华
刊名稀有金属
出版日期1991
期号03
ISSN号0258-7076
中文摘要在研究GaAs和GaAlAs电解液电反射谱的基础上,把电解液电反射方法与电化学可控阳极溶解技术结合起来,对GaAs/GaAlAs多层结构材料进行深度剖面分析。根据阳极溶解过程中电反射谱的变化,研究了多层结构材料的界面性质、p-n结位置和纵向铝组分分布。
语种中文
公开日期2012-03-29
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105726]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文(冶金所)
推荐引用方式
GB/T 7714
王周成,彭瑞伍,钱佑华. 电解液电反射法研究GaAs/GaAlAs多层结构材料[J]. 稀有金属,1991(03).
APA 王周成,彭瑞伍,&钱佑华.(1991).电解液电反射法研究GaAs/GaAlAs多层结构材料.稀有金属(03).
MLA 王周成,et al."电解液电反射法研究GaAs/GaAlAs多层结构材料".稀有金属 .03(1991).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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