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叠加能量Si~+、N~+共注入SiO_2薄膜的光致发光

文献类型:期刊论文

作者赵俊 ; 杨根庆 ; 丁星肇 ; 林梓鑫 ; 江炳尧 ; 周祖尧 ; 柳襄怀
刊名功能材料与器件学报
出版日期1998
期号03
ISSN号1007-4252
中文摘要报道了用叠加能量Si+、N+共注入SiO2薄膜研究硅基发光材料。Si+、N+先后注入SiO2薄膜,并在衬底中重叠。样品退火后在紫外光激发下,可以观察到很强的紫外(~340nm)和紫色(~427nm)光致发光(PL)。还研究了光致发光激发(PLE)谱并对发光机制进行了探讨。
公开日期2012-03-29
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105745]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文(冶金所)
推荐引用方式
GB/T 7714
赵俊,杨根庆,丁星肇,等. 叠加能量Si~+、N~+共注入SiO_2薄膜的光致发光[J]. 功能材料与器件学报,1998(03).
APA 赵俊.,杨根庆.,丁星肇.,林梓鑫.,江炳尧.,...&柳襄怀.(1998).叠加能量Si~+、N~+共注入SiO_2薄膜的光致发光.功能材料与器件学报(03).
MLA 赵俊,et al."叠加能量Si~+、N~+共注入SiO_2薄膜的光致发光".功能材料与器件学报 .03(1998).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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