对一台先进电子束曝光机制作掩模过程的分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王国荃 ; 罗腾蛟 ; 陈福余 ; 徐志如 |
| 刊名 | 微细加工技术
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| 出版日期 | 1992 |
| 期号 | 01 |
| ISSN号 | 1003-8213 |
| 中文摘要 | 本文通过对一台先进电子束曝光机制作掩模过程的分析,阐明设计图经计算机辅助设计系统数字化后,生成PG格式数据,再由PG格式数据转换成电子束格式数据的处理;论述了光栅扫描的原理及特点;介绍了图形发生器的作用及电子束在控制系统作用下在基片上描绘图形的过程。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105756]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王国荃,罗腾蛟,陈福余,等. 对一台先进电子束曝光机制作掩模过程的分析[J]. 微细加工技术,1992(01). |
| APA | 王国荃,罗腾蛟,陈福余,&徐志如.(1992).对一台先进电子束曝光机制作掩模过程的分析.微细加工技术(01). |
| MLA | 王国荃,et al."对一台先进电子束曝光机制作掩模过程的分析".微细加工技术 .01(1992). |
入库方式： OAI收割
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