中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
多晶硅超自对准技术在双极超高速器件工艺中的研究

文献类型:期刊论文

作者余宽豪
刊名半导体技术
出版日期1996
期号03
ISSN号1003353X
中文摘要叙述了在硅双极型超高速工艺中研究使用的多晶硅超自对准技术(SST),通过对器件结构的比较,工艺特点的分析,进行了改善关键技术的探讨,并在我们现有基础条件下,开展了用SST研制晶体管的实验。
语种中文
公开日期2012-03-29
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105769]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文(冶金所)
推荐引用方式
GB/T 7714
余宽豪. 多晶硅超自对准技术在双极超高速器件工艺中的研究[J]. 半导体技术,1996(03).
APA 余宽豪.(1996).多晶硅超自对准技术在双极超高速器件工艺中的研究.半导体技术(03).
MLA 余宽豪."多晶硅超自对准技术在双极超高速器件工艺中的研究".半导体技术 .03(1996).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

浏览0
下载0
收藏0
其他版本

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。