多晶硅超自对准技术在双极超高速器件工艺中的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 余宽豪 |
| 刊名 | 半导体技术
 |
| 出版日期 | 1996 |
| 期号 | 03 |
| ISSN号 | 1003353X |
| 中文摘要 | 叙述了在硅双极型超高速工艺中研究使用的多晶硅超自对准技术（ＳＳＴ），通过对器件结构的比较，工艺特点的分析，进行了改善关键技术的探讨，并在我们现有基础条件下，开展了用ＳＳＴ研制晶体管的实验。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105769]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 余宽豪. 多晶硅超自对准技术在双极超高速器件工艺中的研究[J]. 半导体技术,1996(03). |
| APA | 余宽豪.(1996).多晶硅超自对准技术在双极超高速器件工艺中的研究.半导体技术(03). |
| MLA | 余宽豪."多晶硅超自对准技术在双极超高速器件工艺中的研究".半导体技术 .03(1996). |
入库方式： OAI收割
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