多入射角椭偏法同时测量衬底光学常数和膜参数
文献类型：期刊论文
| 作者 | 周庆初 ; 徐乃欣 ; 石声泰 |
| 刊名 | 应用科学学报
 |
| 出版日期 | 1989 |
| 期号 | 03 |
| ISSN号 | 0255-8297 |
| 中文摘要 | 本文首先讨论了多入射角椭偏法同时测量衬底光学常数和膜参数时结果的唯一性跟各未知参数间相关性的关系,从而提出了选择合适入射角的一般原则.计算了不同入射角下硅-二氧化硅体系和不锈钢钝化膜体系的椭偏参数△、(?)对n_2、k_2、n_f、、d和人射角(?)_0的一阶导数,考查了各未知参数之间的相关性.最后给出了用随机单纯形法对这两个体系进行拟合计算的实例. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105776]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 周庆初,徐乃欣,石声泰. 多入射角椭偏法同时测量衬底光学常数和膜参数[J]. 应用科学学报,1989(03). |
| APA | 周庆初,徐乃欣,&石声泰.(1989).多入射角椭偏法同时测量衬底光学常数和膜参数.应用科学学报(03). |
| MLA | 周庆初,et al."多入射角椭偏法同时测量衬底光学常数和膜参数".应用科学学报 .03(1989). |
入库方式： OAI收割
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