反应离子束微细加工全息闪耀光栅研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 傅新定 ; 郑延芳 ; 陈莉芝 ; 任琮欣 ; 蔡雪强 ; 曲志敏 ; 徐英明 ; 李美月 |
| 刊名 | 光学学报
 |
| 出版日期 | 1985 |
| 期号 | 01 |
| ISSN号 | 0253-2239 |
| 中文摘要 | 本文报道以无透镜傅里叶全息术变换记录的全息光栅作掩膜,应用反应离子束入射角控制光栅闪耀角,选择了合适刻蚀工艺参数,制得衍射效率为67%的SiO_2全息闪耀光栅。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105819]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 傅新定,郑延芳,陈莉芝,等. 反应离子束微细加工全息闪耀光栅研究[J]. 光学学报,1985(01). |
| APA | 傅新定.,郑延芳.,陈莉芝.,任琮欣.,蔡雪强.,...&李美月.(1985).反应离子束微细加工全息闪耀光栅研究.光学学报(01). |
| MLA | 傅新定,et al."反应离子束微细加工全息闪耀光栅研究".光学学报 .01(1985). |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。