非晶金刚石薄膜的制备及其性能研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 赵建平 ; 王曦 ; 陈智颖 ; 杨石奇 ; 柳襄怀 ; 施天生 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
 |
| 出版日期 | 1997 |
| 期号 | 01 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 本文利用一种新的等离子体沉积技术—真空磁过滤弧沉积（ＦＡＤ）制备得到一种无氢的非晶碳膜。ＥＥＬＳ分析表明，这种非晶碳膜几乎不含有ｓｐ２和ｓｐ杂化键，呈现出高度的金刚石特征，以致可以被称为非晶金刚石（ａＤ）膜。应用紫外透射光谱（ＵＶ）、红外反射光谱以及椭偏测量等方法对ａＤ膜的光学性能进行了测量。利用显微力学探针、Ｘ射线双晶衍射、卢瑟福背散射（ＲＢＳ）技术和ＥＥＬＳ分析等多种测量手段对ａＤ的超显微硬度、应力以及密度等力学和结构特性进行了定量分析。另外，对这种ａＤ膜的场电子发射性能也进行了研究。 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105837]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵建平,王曦,陈智颖,等. 非晶金刚石薄膜的制备及其性能研究[J]. 功能材料与器件学报,1997(01). |
| APA | 赵建平,王曦,陈智颖,杨石奇,柳襄怀,&施天生.(1997).非晶金刚石薄膜的制备及其性能研究.功能材料与器件学报(01). |
| MLA | 赵建平,et al."非晶金刚石薄膜的制备及其性能研究".功能材料与器件学报 .01(1997). |
入库方式： OAI收割
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