高T_cYBCO超导薄膜微带延迟线研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 任琮欣 ; 陈国梁 ; 柳襄怀 ; 屠恺元 ; 汪祥兴 ; 冯学敬 |
| 刊名 | 低温物理学报
 |
| 出版日期 | 1996 |
| 期号 | 06 |
| ISSN号 | 10003258 |
| 中文摘要 | 本文报导了延时为２．２ｎｓ的高Ｔｃ超导薄膜延迟线的制作工艺．应用直流磁控溅射在１０×１０ｍｍ２ＬａＡｌＯ３衬底上均匀地外延生长４５０ｎｍ优质ＹＢＣＯ超导薄膜，采用离子束干法刻蚀技术制作出宽为１６６μｍ长为１７４ｍｍ的曲折线图形，配以合适的气密性封装，经美国ＨＰ８５０７矢量网络分析仪测量，在温度７８Ｋ频率１．２ＧＨｚ时，延迟线的插入损耗低达０．０４ｄＢ，仅为相同条件下铜膜延迟线插损的１／１６０． |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105926]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 任琮欣,陈国梁,柳襄怀,等. 高T_cYBCO超导薄膜微带延迟线研制[J]. 低温物理学报,1996(06). |
| APA | 任琮欣,陈国梁,柳襄怀,屠恺元,汪祥兴,&冯学敬.(1996).高T_cYBCO超导薄膜微带延迟线研制.低温物理学报(06). |
| MLA | 任琮欣,et al."高T_cYBCO超导薄膜微带延迟线研制".低温物理学报 .06(1996). |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。