高Tc超导薄膜热敏红外探测器的物理特性和工艺研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈红 ; 王德宁 ; 王渭源 |
| 刊名 | 传感技术学报
 |
| 出版日期 | 1993 |
| 期号 | 03 |
| 关键词 | K1 高Tc超导红外探测器 热导 电阻温度系数 |
| ISSN号 | 1004-1699 |
| 其他题名 | T1 高Tc超导薄膜热敏红外探测器的物理特性和工艺研究 |
| 中文摘要 | 本文对以高T_C超导薄膜为探测元的热敏红外探测器进行了理论分析和模拟设计.对影响器件性能的关键因素——热导G和电阻温度系数α,作了深入的理论分析,得到器件结构参数的最佳设计.在此基础上开展了相关的工艺研究:YSZ缓冲层和YBCO超导薄膜的制备;硅基片的微机械加工技术及YBCO膜的激光刻蚀技术. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105929]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈红,王德宁,王渭源. 高Tc超导薄膜热敏红外探测器的物理特性和工艺研究[J]. 传感技术学报,1993(03). |
| APA | 陈红,王德宁,&王渭源.(1993).高Tc超导薄膜热敏红外探测器的物理特性和工艺研究.传感技术学报(03). |
| MLA | 陈红,et al."高Tc超导薄膜热敏红外探测器的物理特性和工艺研究".传感技术学报 .03(1993). |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。