高导电性BaRuO_3薄膜及其脉冲激光沉积
文献类型：期刊论文
| 作者 | 许华平 ; 辛火平 ; 郑立荣 ; 林成鲁 ; 顾梅 ; 曹泽淳 |
| 刊名 | 中国激光
 |
| 出版日期 | 1996 |
| 期号 | 01 |
| ISSN号 | 02587025 |
| 中文摘要 | 钌酸盐是典型的ＡＢＯ３型过渡金属氧化物，具有金属导电性，其薄膜可作为电极材料用于集成铁电等器件中。分析了ＢａＲｕＯ３的钙钛矿晶体结构和导电机制，并利用ＡｒＦ准分子脉冲激光沉积（ＰＬＤ）技术，结合后续退火处理，在Ｓｉ（１００）衬底上生长出具有（１１０）取向、室温电阻率约１０－２～１０－３Ω·ｃｍ的ＢａＲｕＯ３高导电性薄膜，俄歇能谱（ＡＥＳ）和Ｒｕｔｈｅｒｆｏｒｄ背散射谱（ＲＢＳ）分析表明：薄膜ＢａＲｕＯ３的纯度高、成分均匀性好，ＢａＲｕＯ３／Ｓｉ界面存在扩散过渡层。 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105933]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 许华平,辛火平,郑立荣,等. 高导电性BaRuO_3薄膜及其脉冲激光沉积[J]. 中国激光,1996(01). |
| APA | 许华平,辛火平,郑立荣,林成鲁,顾梅,&曹泽淳.(1996).高导电性BaRuO_3薄膜及其脉冲激光沉积.中国激光(01). |
| MLA | 许华平,et al."高导电性BaRuO_3薄膜及其脉冲激光沉积".中国激光 .01(1996). |
入库方式： OAI收割
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