高可靠SOS固态压力传感器
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈庆贵 ; 史日华 ; 滕征杰 ; 许和平 |
| 刊名 | 半导体技术
 |
| 出版日期 | 1990 |
| 期号 | 04 |
| ISSN号 | 1003-353X |
| 中文摘要 | 本文报导了高可靠SOS压力传感器研制的实验结果,特别是可靠性试验方法和应用效果。所得传感器的主要性能为:量程0～20MPa,工作温度-55°～300℃,精度0.2～0.5％,满度输出100±20mV,平均寿命(MTTF)≥1×10~6次。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105942]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈庆贵,史日华,滕征杰,等. 高可靠SOS固态压力传感器[J]. 半导体技术,1990(04). |
| APA | 陈庆贵,史日华,滕征杰,&许和平.(1990).高可靠SOS固态压力传感器.半导体技术(04). |
| MLA | 陈庆贵,et al."高可靠SOS固态压力传感器".半导体技术 .04(1990). |
入库方式： OAI收割
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