功能覆盖膜对场发射阵列(FEA)电子发射性能的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘新福 ; 李琼 ; 徐静芳 ; 范忠 ; 陈春辉 ; 柳襄怀 ; 杨根庆 |
| 刊名 | 华东师范大学学报(自然科学版)
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| 出版日期 | 1997 |
| 期号 | 02 |
| 关键词 | K1 覆盖膜 场发射阵列 电子发射 |
| ISSN号 | 1000-5641 |
| 其他题名 | T1 功能覆盖膜对场发射阵列(FEA)电子发射性能的影响 |
| 中文摘要 | 为了寻找适合真空微电子器件的场发射阵列（FEA）覆盖材料，我们采用了一系列功能材料作为覆盖膜，薄膜淀积采用离子束辅助淀积（IBAD）以及其它淀积技术。在10~-6Pa下测量具有不同覆盖膜的硅FEA二极管的I－V特性，测量结果表明除Au和Mo外，其它覆盖材料都对FEA电子发射性能有改进，经TaN覆盖的FEA发射电流最大。由F－N曲线估算出有效表面功函数和有效发射面积，从而说明以上所得的实验结果。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105993]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘新福,李琼,徐静芳,等. 功能覆盖膜对场发射阵列(FEA)电子发射性能的影响[J]. 华东师范大学学报(自然科学版),1997(02). |
| APA | 刘新福.,李琼.,徐静芳.,范忠.,陈春辉.,...&杨根庆.(1997).功能覆盖膜对场发射阵列(FEA)电子发射性能的影响.华东师范大学学报(自然科学版)(02). |
| MLA | 刘新福,et al."功能覆盖膜对场发射阵列(FEA)电子发射性能的影响".华东师范大学学报(自然科学版) .02(1997). |
入库方式： OAI收割
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