关于Cu-Au合金溅射机制的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王震遐 ; 朱福英 ; 陈文彪 ; 曹德新 ; 周祖尧 ; 张衡山 ; 张阿虎 |
| 刊名 | 核技术
 |
| 出版日期 | 1986 |
| 期号 | 01 |
| ISSN号 | 0253-3219 |
| 中文摘要 | 本文报道了用热中子活化法测量Cu-Au合金在80keV Ar~+离子不同剂量轰击下的部分溅射产额比S_Cu/S_Au,并用卢瑟福背散射(RBS)技术分析样品中元素的反冲以及表面层成分的相对变化,从而研究了元素择优溅射对表面层变化所起的作用。 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106008]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王震遐,朱福英,陈文彪,等. 关于Cu-Au合金溅射机制的研究[J]. 核技术,1986(01). |
| APA | 王震遐.,朱福英.,陈文彪.,曹德新.,周祖尧.,...&张阿虎.(1986).关于Cu-Au合金溅射机制的研究.核技术(01). |
| MLA | 王震遐,et al."关于Cu-Au合金溅射机制的研究".核技术 .01(1986). |
入库方式： OAI收割
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