硅基光导波结构的特性研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 祖继锋 ; 马忠礼 ; 余宽豪 ; 陈学良 ; 耿完桢 |
| 刊名 | 光学学报
 |
| 出版日期 | 1998 |
| 期号 | 06 |
| ISSN号 | 0253-2239 |
| 中文摘要 | 研究了在硅基底上采用等离子增强化学汽相淀积（ＰＥＣＶＤ）氮氧化硅（ＳｉＯＮ）所形成的包括通道波导、条波导、倒脊型波导等多种结构的特性。通过对测试结果进一步分析，总结出有关结论并提出一些改进方法。 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106063]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 祖继锋,马忠礼,余宽豪,等. 硅基光导波结构的特性研究[J]. 光学学报,1998(06). |
| APA | 祖继锋,马忠礼,余宽豪,陈学良,&耿完桢.(1998).硅基光导波结构的特性研究.光学学报(06). |
| MLA | 祖继锋,et al."硅基光导波结构的特性研究".光学学报 .06(1998). |
入库方式： OAI收割
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