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硅上β-FeSi_2的超高真空镀膜外延及其光学性质研究

文献类型:期刊论文

作者林成鲁 ; 王连卫 ; 陈向东 ; 沈勤我 ; 郑立荣 ; 倪如山
刊名光电子·激光
出版日期2000
期号03
ISSN号1005-0086
其他题名T1 硅上β-FeSi_2的超高真空镀膜外延及其光学性质研究
语种中文
公开日期2012-03-29
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106070]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文(冶金所)
推荐引用方式
GB/T 7714
林成鲁,王连卫,陈向东,等. 硅上β-FeSi_2的超高真空镀膜外延及其光学性质研究[J]. 光电子·激光,2000(03).
APA 林成鲁,王连卫,陈向东,沈勤我,郑立荣,&倪如山.(2000).硅上β-FeSi_2的超高真空镀膜外延及其光学性质研究.光电子·激光(03).
MLA 林成鲁,et al."硅上β-FeSi_2的超高真空镀膜外延及其光学性质研究".光电子·激光 .03(2000).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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