硅中注氢热退火在晶体中产生的应力及其对晶体结构的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 多新中 ; 刘卫丽 ; 张苗 ; 高剑侠 ; 符晓荣 ; 林成鲁 |
| 刊名 | 核技术
 |
| 出版日期 | 2000 |
| 期号 | 03 |
| ISSN号 | 31-1342/TL |
| 中文摘要 | 用Ｘ射线四晶衍射仪测量了不同温度下退火的注氢单晶硅的摇摆曲线，分析了不同温度退火后晶格内应力产生及消失的过程。并与离子背散射沟道分析进行了比较。结果表明，在４００℃左右，氢注入形成的氢复合体分解；形成氢分子，氢分子在晶格中聚集，生成氢气，在高温下膨胀，引起晶格形变，并产生缺陷；当退火温度达到５００℃以后，氢气的膨胀已超过晶体的屈服强度，产生了大量的缺陷、位错，同时在硅晶体内形成气泡，并在硅晶体表面造成砂眼、剥离等现象。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106088]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 多新中,刘卫丽,张苗,等. 硅中注氢热退火在晶体中产生的应力及其对晶体结构的影响[J]. 核技术,2000(03). |
| APA | 多新中,刘卫丽,张苗,高剑侠,符晓荣,&林成鲁.(2000).硅中注氢热退火在晶体中产生的应力及其对晶体结构的影响.核技术(03). |
| MLA | 多新中,et al."硅中注氢热退火在晶体中产生的应力及其对晶体结构的影响".核技术 .03(2000). |
入库方式： OAI收割
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