氦载气熔化-气相色谱法测定硅中微量氧
文献类型：期刊论文
| 作者 | 何焕南 ; 赵关弟 ; 严荣华 ; 吕庆仁 |
| 刊名 | 分析化学
 |
| 出版日期 | 1982 |
| 期号 | 10 |
| ISSN号 | 0253-3820 |
| 中文摘要 | 本文提出了氦载气熔化-气相色谱法(镍-锡熔池方案)测定硅中微量氧。采用镍-锡熔池时硅中定氧的温度可低于与碳直接接触的空坩埚无浴法。由于改进了实验条件和使用了小型裸体石墨坩埚,降低了气体分析的空白(<0.1μg氧),并提高了分析结果的重现性。分析温度1650～1700℃,抽取时间5分钟,每个坩埚可以分析4个样品。用此法可测定ppm级硅中氧。用本法建立了9μ红外吸收法测定硅单晶中氧标定曲线。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106103]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 何焕南,赵关弟,严荣华,等. 氦载气熔化-气相色谱法测定硅中微量氧[J]. 分析化学,1982(10). |
| APA | 何焕南,赵关弟,严荣华,&吕庆仁.(1982).氦载气熔化-气相色谱法测定硅中微量氧.分析化学(10). |
| MLA | 何焕南,et al."氦载气熔化-气相色谱法测定硅中微量氧".分析化学 .10(1982). |
入库方式： OAI收割
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