化学生物敏感器件用SOS材料
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈庆贵 ; 史日华 ; 邬华 ; 詹千宝 |
| 刊名 | 传感器技术
 |
| 出版日期 | 1987 |
| 期号 | Z1 |
| ISSN号 | 1000-9787 |
| 中文摘要 | <正> 在蓝宝石(α-Al_2O_3)衬底上异质外延生长硅单晶膜(简称SOS),在集成电路上有着重要的应用。然而,这种SOS材料在敏感器件方面也有着广泛的应用。苏、美相继于七十年代末研制出蓝宝石晶体压力传感器,并有商品 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106157]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈庆贵,史日华,邬华,等. 化学生物敏感器件用SOS材料[J]. 传感器技术,1987(Z1). |
| APA | 陈庆贵,史日华,邬华,&詹千宝.(1987).化学生物敏感器件用SOS材料.传感器技术(Z1). |
| MLA | 陈庆贵,et al."化学生物敏感器件用SOS材料".传感器技术 .Z1(1987). |
入库方式： OAI收割
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