基于单片机硅微机械谐振传感器真空测量研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张昱 ; 金心宇 ; 陈抗生 ; 王跃林 |
| 刊名 | 仪器仪表学报
 |
| 出版日期 | 2001 |
| 期号 | 04 |
| ISSN号 | 0254-3087 |
| 中文摘要 | 本文介绍了一种新颖的基于单片机的硅微机械谐振传感器测量方法及其实现。在微传感器工作原理理论分析的基础上 ,证明其适合于真空环境测量。利用闭环测控电路方式 ,使整机具有良好的灵敏度和可靠性。讨论了测量仪的测量原理、硬件组成和软件设计。该测量仪的真空度测量范围接近 10 2 ～ 10 - 1 Pa,具有可靠性高、响应速度快等优点 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106181]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张昱,金心宇,陈抗生,等. 基于单片机硅微机械谐振传感器真空测量研究[J]. 仪器仪表学报,2001(04). |
| APA | 张昱,金心宇,陈抗生,&王跃林.(2001).基于单片机硅微机械谐振传感器真空测量研究.仪器仪表学报(04). |
| MLA | 张昱,et al."基于单片机硅微机械谐振传感器真空测量研究".仪器仪表学报 .04(2001). |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。