几种不同波长的激光辐照对砷注入硅的退火行为研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 林成鲁 ; 林梓鑫 ; 陈国荣 ; 吴恒显 |
| 刊名 | 微电子学与计算机
 |
| 出版日期 | 1981 |
| 期号 | 05 |
| ISSN号 | 1000-7180 |
| 中文摘要 | 本文以调Q红宝石脉冲激光、连续Nd:YAG激光及连续CO_2激光对硅中注砷的样品进行退火研究,用离子背散射沟道技术、电子衍射、离子探针等手段分析比较了三种不同波长激光的退火效应及其特点。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106223]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 林成鲁,林梓鑫,陈国荣,等. 几种不同波长的激光辐照对砷注入硅的退火行为研究[J]. 微电子学与计算机,1981(05). |
| APA | 林成鲁,林梓鑫,陈国荣,&吴恒显.(1981).几种不同波长的激光辐照对砷注入硅的退火行为研究.微电子学与计算机(05). |
| MLA | 林成鲁,et al."几种不同波长的激光辐照对砷注入硅的退火行为研究".微电子学与计算机 .05(1981). |
入库方式： OAI收割
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