溅射PZT薄膜的晶体结构和快速热处理
文献类型：期刊论文
| 作者 | 徐梅娣 ; 郭懋端 ; 章岚 ; 陈国明 |
| 刊名 | 真空科学与技术
 |
| 出版日期 | 1996 |
| 期号 | 03 |
| 关键词 | K1 溅射法 PZT铁电薄膜 快速热处理 |
| ISSN号 | 0253-9748 |
| 其他题名 | T1 溅射PZT薄膜的晶体结构和快速热处理 |
| 中文摘要 | 采用常温射频（RF）溅射法和快速热处理相结合的技术，在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上，制备出具有铁电性的PZT薄膜。研究了快速热处理工艺条件对PZT薄膜性能的影响。通过X射线衍射法、SEM和AES等方法，分析了PZT薄膜的晶体结构、微结构、薄膜和电极间的界面效应。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106249]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐梅娣,郭懋端,章岚,等. 溅射PZT薄膜的晶体结构和快速热处理[J]. 真空科学与技术,1996(03). |
| APA | 徐梅娣,郭懋端,章岚,&陈国明.(1996).溅射PZT薄膜的晶体结构和快速热处理.真空科学与技术(03). |
| MLA | 徐梅娣,et al."溅射PZT薄膜的晶体结构和快速热处理".真空科学与技术 .03(1996). |
入库方式： OAI收割
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