金刚石薄膜选择生长技术
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王效东 ; 毛敏耀 ; 杨艺榕 ; 王渭源 |
| 刊名 | 仪表技术与传感器
 |
| 出版日期 | 1998 |
| 期号 | 05 |
| ISSN号 | 1002-1841 |
| 中文摘要 | 以金刚石微马达和微型谐振子结构制备为例，介绍化学气相沉积金刚石薄膜的两种选择生长技术。 |
| 公开日期 | 2012-03-29 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106286]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王效东,毛敏耀,杨艺榕,等. 金刚石薄膜选择生长技术[J]. 仪表技术与传感器,1998(05). |
| APA | 王效东,毛敏耀,杨艺榕,&王渭源.(1998).金刚石薄膜选择生长技术.仪表技术与传感器(05). |
| MLA | 王效东,et al."金刚石薄膜选择生长技术".仪表技术与传感器 .05(1998). |
入库方式： OAI收割
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